凈室及潔凈區的懸浮粒子潔凈度等級
| 凈室及潔凈區的懸浮粒子潔凈度等級 |
| ISO分級序數（N） |
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 |
| （PC/m³-空氣濃度限值按公式（1-1）計算） |
| 0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
| ISO Class1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
| ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
| ISO Class3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
| ISO Class4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
| ISO Class5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
| ISO Class6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
| ISO Class7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
| ISO Class8 |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
| ISO Class9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
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